Vacuum Products

21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC

MFC

질량 유량 측정 / 제어기 ( Mass Flow Meter / Controller )는 다양한 가스의 유랑을 측정하고 제어할수 있는 제품으로, 다양한 가스를 사용하는 환경에서 사용 할 수 있습니다.
아나로그 제어 방식으로 고속제어가 가능하여 빠른 응답특성을 가지고 있습니다. MFC는 Etch, CVD등 주요 반도체 제조 공정에 사용하고 있습니다.
Specitification
Dimension
Manual

 

Applications

 

Total Industy

Precision Gas Blending & Analyzing

Gas Injection on Surface treatment Indusry ( PVD, CVD, Reactor, etc )

Semiconductor Indusry

Semiconductor Indusry

Component Leak Detection

Research and Development

High ressure Industry

Optical Fiber

Fuel Cell

Reactor System

Gas mixing System

Laboratory 

 

 

 

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