Vacuum Products

21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC

KVC310 Vacuum Gauge Sensor

KVC310 Vacuum Gauge Sensor

Piezo, Pirani Vacuum Gauge Sensor

Measurement Range
1.0E-04 to 1500Torr

Application Sensor
NTA Pirani Vacuum Gauge

Application Model
KP370 - KVC310 Sensor


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Manual

( KVC310 Vacuum Gauge Sensor / Gold Plated Tungsten, Piezo )

KVC310 Vacuum Gauge Sensor 는 Vacuum Pressure을 정확하게 측정하며 다양한 진공공정에서 사용되고 있습니다. 

또한 다양한 Gas 분위기에서도 사용이 가능하며 최고 수준의 정확도, 제품 간의 재현성을 보장하기 위해 모든 Gauge는 공장에서 개별적으로 보정하며, 컨트롤러 조정이 불 필요합니다.

 

 

 

Key Feature 


-KVC310 NTA Pirani Vacuum Gauge는 낮은 진공도부터 Piezo Sensor를 사용하여 1.0E-04 ~ 1500Torr 넓은 범위 측정이 가능한 Sensor입니다.


-KVC특허 기술이 적용된 제품으로 높은 정확성, 재현성, 내구성이 뛰어납니다.

 

-KVC300 Series Vacuum Gauge는 진공 공정에 품질과 생산성 향상과 유지 관리 비용을 최소화 해 줄 것입니다.

 

-구성이 All-Metal로 만들어져 있어 RF간섭에 문제가 없습니다.

 

 

 

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Product Specification 

- Sensor Specification

 

 Sensor Type

 NTA PIRANI Gauge ( KVC310 - XX ) 

 Sensor Materials

 Piezo resistive silicon sensor with SUS housing

 Gold Plated tungsten or Platinum  

 Internal Volume

 5 cm

 Gauge Bakeout Temperature

 150 ℃ Maximum, NON - operating

 Case Materials

 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar

 ​

 

※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.

※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.
   SENSOR FILAMENT는 일반적으로 동작시 온도가 110℃입니다.