Vacuum Products

21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC

KVC350 Vacuum Gauge Sensor

KVC350 Vacuum Gauge Sensor

Piezo, MEMS Pirani Vacuum Gauge Sensor

Measurement Range
1.0E-04 to 1500Torr

Application Sensor
NTA Pirani Vacuum Gauge

Application Model
KP390 - KVC350 Sensor
Specitification
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Manual

( KVC350 Vacuum Gauge Sensor / Mems Sensor, Piezo)

KVC350 Vacuum Gauge Sensor는 Vacuum Pressure을 정확하게 측정하며 다양한 진공공정에서 사용되고 있습니다.

또한 다양한 Gas 분위기에서도 사용이 가능하며 최고 수준의 정확도, 게이지 간의 재현성을 보장하기 위해 모든

Gauge는 공장에서 개별적으로 보정하며, 컨트롤러 조정이 불 필요합니다.

 

 

 

Key Feature 


-다양한 Gas 분위기에서 사용 가능하며, Mems, Piezo Sensor를 사용하여 정도가 우수합니다. 

 

-KVC350 NTA Pirani Vacuum Gauge는 낮은 진공도부터 Mems, Piezo Sensor를 사용하여 1.0E-04 ~ 1500Torr 넓은 범위 측정이 가능한 Sensor입니다.


-KVC특허 기술이 적용된 제품으로 높은 정확성, 재현성, 내구성이 뛰어납니다.

 

-KVC350 Vacuum Gauge Sensor는 진공 공정에 품질과 생산성 향상과 유지 관리 비용을 최소화 해 줄 것입니다.

 

-구성이 All-Metal로 만들어져 있어 RF간섭에 문제가 없습니다.

 

 

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Product Specification

- Sensor Specification

 

 Sensor Type

 Wide Range Gauge ( KVC350 - XX ) 

 Sensor Materials

 Piezo Resistive silicon Sensor with sus housing 

 MEMS Pirani Sensor

 Internal Volume

 5 cm

 Gauge Bakeout Temperature

 150 ℃ Maximum, NON - operating

 Case Materials

 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar

 

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※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.

※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.

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