Vacuum Products

21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC

KP390 Mirco Module Vacuum Gauge

KP390 Mirco Module Vacuum Gauge

MEMS Pirani Vacuum Gauge

Measurement Range
1.0E-4 to 1500Torr

Display unit
Torr, Pa

Application Sensor
KP350 NTA Pirani Gauge

Optional : Interface
RS485 ASCⅡ, RS485 ModBus RTU
Specitification downloadDownload
Dimension downloadDownload
Manual downloadDownload

KP390 Mirco Module Vacuum Gauge는 Compact Design 으로 만들어져 있으며 Sensor만을 별도 분리가 가능하고, 넓은 범위에 측정이 가능합니다.

또한 Mems, Piezo Sensor를 사용하여 정도가 우수합니다.

신뢰성과 정밀한 성능을 제공 할 수 있도록 만들었으며 출력을 활용하여 다양한 진공 System과 Pressure 제어가 가능한 진공게이지입니다.

 

 


Key Feature 


-KP390 Micro Vacuum Model Gauge는 MEMS Pirani Sensor & Piezo Resistive Silicon Sensor 를 사용한   

 Combined Gauge로 정도가 우수하며 응답 속도가 빠른 정밀한 값을 제공합니다.

 

-재현성, 신뢰성, 내구성이 우수한 Vacuum Gauge 로서 공정에 품질과 생산에 도움을 줄 것 입니다.

 

-구성이 All-Metal로 만들어져 있어 RF간섭에 문제가 없습니다.

 

-Sensor만 교체 가능 하므로 유지 관리 비용을 절감 할 수 있습니다.

 

-CE인증 제품입니다.

 

 

 

Need help?

Contact an Application specialist by sending an email to KVC or Call 032-234-3030


※ 최적의 제품을 선택하는 방법

 
Product Specification 

- Controller Specification

 

 Measuring Range for Air and N2

 1.0E-4 ~ 1500 Torr

 Operating Temperature

 0 ~ 60 ℃

 Storage Temperature

 - 40 ~ 70 ℃

 Case Material

 Aluminum

 Compliance 

 N/A

 Display 

 4 Digit LED, Status LED

 Set Point Relays

 2 Point SPST ( 1A / 30VDC, 0.5A / 125VAC )

 Analog Output

 Log scale ( 0 ~ 7.18 Vdc ) / Lin Scale ( 0 ~ 10 Vdc ) 

 Digital Interface

 485 ASCII / 485 MODBUS

 Power Required

 DC 24V / 200 mA 

 Weight

 430g ( With sensor ) 

 Mounting 

 Field Flange Mounting

 


- Sensor Specification

 

 Sensor Type

 Wide Range Gauge ( KVC350 - XX )

 Sensor Materials

 Piezo Resistive silicon Sensor with sus housing

 Gold Plated tungsten or Platinum  

 Internal Volume

 5 cm

 Gauge Bakeout Temperature

 150 ℃ Maximum, NON - operating

 Case Materials

 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar

 ​

 

※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.

※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.
   SENSOR FILAMENT는 일반적으로 동작시 온도가 110℃입니다.