Vacuum Products

21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC

KP360 Pirani Module Vacuum Gauge

KP360 Pirani Module Vacuum Gauge

Piezo, Pirani Vacuum Gauge

Measurement Range
0.1mTorr to 1500Torr

Display unit
Torr, mTorr, Pa

Application Sensor
KVC340 NTA Pirani Vacuum Gauge

Optional : Interface
RS485 ASCⅡ, RS485 ModBus RTU
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( Torr or mTorr automatic switching )

Torr or mTorr 자동 전환되는 Module Vacuum Gauge로서 Compact Design으로 설치하기가 편리하고 낮은 비용으로 

신뢰하는 진공도를 측정하고 출력을 활용하여 다양한 System과 Pressure 제어가 가능한 진공게이지입니다.

 

 

Key Feature


-The series KP360 Pirani Sensor and Piezoresistve Silicon Pressure Sensor를 사용하여 만들어진 

 Combined Vacuum Gauge입니다.

 

-특징은 Compact Design과 정밀한 측정과 뛰어난 재현성, 내구성이 우수한 Vacuum Gauge입니다.

 

-다양한 Gas 분위기에서 사용이 가능합니다.

 

-Piezoresistive Silicon Pressure Sensor를 사용하여 Atmosphere 정도를 항상시키고 넓은 영역까지 진공도 측정

 이 가능한 Module로 Torr, mTorr 자동전환으로 정밀하게 측정이 가능한 Vacuum Gauge입니다.

 

-구성이 All-Metal로 만들어져 있어 RF간섭에 문제가 없습니다. 

 

 

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※ 최적의 제품을 선택하는 방법

 

 

 

Product Specification 

- Controller Specification

 

 Measuring Range for Air and N2

 0.1 mTorr ~ 1500 Torr

 Operating Temperature

 0 ~ 60 ℃

 Storage Temperature

 - 40 ~ 70 ℃

 Case Material

 Aluminum

 Compliance 

 CE ( EMC )

 Display 

 4 Digit LED, Status LED

 Set Point Relays

 2 Point SPST ( 1A / 30VDC, 0.5A / 125VAC )

 Analog Output

 Log scale ( 0 ~ 7.18 Vdc ) / Lin Scale ( 0 ~ 10 Vdc ) 

 Digital Interface

 485 ASCII / 485 MODBUS

 Power Required

 DC 24V / 200 mA 

 Weight

 430g ( With sensor ) 

 Mounting 

 Field Flange Mounting

 


- Sensor Specification

 

 Sensor Type

 NTA PIRANI Gauge ( KVC310 - XX )

 Sensor Materials

 Piezo Resistive silicon Sensor with sus housing

 Gold Plated tungsten or Platinum  

 Internal Volume

 5 cm

 Gauge Bakeout Temperature

 150 ℃ Maximum, NON - operating

 Case Materials

 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar

 ​

 

※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.

※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.
   SENSOR FILAMENT는 일반적으로 동작시 온도가 110℃입니다