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Vacuum Products
21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC
Download( Gold Plated Tungsten / Piezo)
KVC460 ATM SHIM Vacuum Gauge Sensor는 Piezo Sensor 와 Pirani Gauge가 결합한 제품으로 Vacuum Pressure을 정확하게 측정하며 다양한 진공 공정에서 사용 되고 있습니다.
최고 수준의 정확도와 게이지 간 재현성을 보장합니다.
개별적으로 보정되므로 컨트롤러 조정이 불 필요합니다.
Key Feature
-다양한 Gas분위기에서 사용 가능합니다.
-The Series KVC460 ATM SHIM Sensor는 개별 교정된 Sensor로 최고의 측정 성능을 보장합니다.
-공간 제한적 장소에 간편히 설치 할 수 있습니다.
-측정 범위가 1.0E-03~1500Torr 까지 측정할 수 있습니다.
-온도 보상이 되므로 주변 온도 변화에 영향이 없이 사용 가능합니다.
-구성이 All-Metal로 만들어져 있어 RF간섭에 문제가 없습니다.
Need help?
Contact an Application Specailst by sending an email to KVC or Call 032-234-3030
Product Specification
- Sensor Specification
Sensor Type | KVC460 Sensor |
Sensor Materials | Piezo Resistive silicon Sensor with sus housing Gold Plated tungsten or Platinum |
Internal Volume | 40 cm3 |
Gauge Bakeout Temperature | 150 ℃ Maximum, NON - operating |
Case Materials | 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar |
※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.
※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.
SENSOR FILAMENT는 일반적으로 동작시 온도가 110℃입니다.
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