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Vacuum Products
21세기 제어 계측 산업의 최고를 지향 하는 진공 계측기 전문기업 KVC
Download( Gold Plated Tungsten, Piezo )
KVC500 ATM SHIM Vacuum Gauge Sensor는 Piezo Sensor 와 Pirani Gauge가 결합한 제품으로 Vacuum Pressure을 정확하게 측정하며 다양한 진공 공정에서 사용 되고 있습니다.
최고 수준의 정확도와 게이지 간 재현성을 보장합니다.
개별적으로 보정되므로 컨트롤러 조정이 불필요합니다.
Key Feature
-다양한 Gas분위기에서 사용 가능합니다.
-KVC500 ATM SHIM Vacuum Gauge는 낮은 진공도에서 Piezo Type의 Silicon Pressure Sensor를 사용하여
1.0E-03 to 1500Torr까지 측정하며, 신뢰할 수 있는 성능을 가지고 있는 Gauge입니다.
-KVC 특허 기술이 적용된 제품으로 높은 정확성, 안정성, 재현성, 내구성이 뛰어난 제품 입니다.
Need help?
Contact an Application Specialist by an sending an email to KVC or Call 032-234-3030
Product Specification
- Sensor Specification
Sensor Type | ATM SHIM Gauge ( KVC500 - XX ) |
Sensor Materials | Piezo Resistive silicon Sensor with sus housing Gold Plated tungsten or Platinum |
Internal Volume | 30 cm3 |
Gauge Bakeout Temperature | 150 ℃ Maximum, NON - operating |
Case Materials | 304 Stainless steel, borosilicate glass, Kovar |
※ 폭발성 대기상태, 가연성 가스와 증기가 있는 곳에 사용하지 마십시오.
※ 폭발성가스, 가연성가스, 혼합가스의 압력을 측정하기 위해 사용하지 마십시오.
SENSOR FILAMENT는 일반적으로 동작시 온도가 110℃입니다.
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